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電子工業(yè)用氣體 氧化亞氮

標 準 號: GB/T 14600-2009
替代情況: 替代 GB/T 14600-1993
發(fā)布單位: 國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局、國家標準化管理委員會
起草單位: 中國計量科學研究院、西南化工研究設計院、大連光明化工研究院
發(fā)布日期: 2009-10-30
實施日期: 2010-05-01
點 擊 數:
更新日期: 2010年09月14日
內容摘要

本標準規(guī)定了氧化亞氮的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于電子工業(yè)中化學氣相淀積工藝。

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