本標準規(guī)定了SPM 漂移速率的術語和定義、縮略語、測量步驟、性能參數(shù)規(guī)格,及基于SPM 掃描圖像的漂移速率測量基本方法。
本標準適用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率測量。本標準中的漂移測量不適用于圖像校正。