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掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號: JJF 1351-2012
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局
起草單位: 中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研究所、上海計(jì)量測試技術(shù)研究院、貴州計(jì)量測試院等
發(fā)布日期: 2012-06-18
實(shí)施日期: 2012-09-18
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更新日期: 2023年05月15日
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內(nèi)容摘要

本規(guī)范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準(zhǔn)。
掃描探針顯微鏡根據(jù)其設(shè)計(jì)原理不同,校準(zhǔn)時(shí)需要根據(jù)實(shí)際情況選擇相關(guān)的計(jì)量特性。對有特殊要求的測量任務(wù),如對溯源要求較高的測量,不在本校準(zhǔn)規(guī)范的適用范圍。

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