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關鍵尺寸掃描電子顯微鏡校準規(guī)范

標準號： JJF(冀) 213-2023

替代情況：

發(fā)布單位：河北省市場監(jiān)督管理局

起草單位：中電國基北方有限公司

發(fā)布日期： 2023-08-02

實施日期： 2023-11-01

點擊數(shù)：

更新日期： 2023年08月19日

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內(nèi)容摘要

本規(guī)范適用于放大倍數(shù)20k~200k 的關鍵尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）的校準。

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